Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR)-analysatoren brukes i halvlederproduksjonsindustrien. FTIR er et spektralanalyseinstrument som bruker infrarød spektroskopi for å analysere urenhetskonsentrasjon gjennom Fourier-transformasjon. Spektrometeret består hovedsakelig av en lyskilde (silisium karbonstang, høytrykks kvikksølvlampe), Michelson interferometer, detektor og interferometer
Det infrarøde lyset som sendes ut av den infrarøde lyskilden S kollimeres til en parallell infrarød stråle og går inn i interferenssystemet. Etter justering med interferometeret oppnås en stråle med interferenslys. Interferenslyset passerer gjennom prøve Sa for å oppnå et interferenssignal som inneholder spektral informasjon, som når detektor D og deretter konverteres til et elektrisk signal av D. Interferenssignalet her er en tidsfunksjon, som er interferensmønsteret tegnet av interferenssignalet , og dens horisontale akse er bevegelsestiden eller avstanden til det bevegelige speilet. Dette interferensmønsteret sendes til datamaskinen gjennom en A/D-omformer, og datamaskinen utfører raske Fourier-transformasjonsberegninger for å få et infrarødt spektrum med bølgenummer som horisontal akse. Deretter sendes den til en plotter gjennom en D/A-omformer for å tegne et veldig kjent standard infrarødt absorpsjonsspektrum.
